1.    簡(jiǎn)介

1.1 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量方法，是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測(cè)儀器，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)線性長(zhǎng)度、角度、平面度、直線度、垂直度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)；進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析；滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析；驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析；導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。

2.    產(chǎn)品功能特點(diǎn)

2.1.   產(chǎn)品特點(diǎn)

      以激光干涉技術(shù)為核心，分辨力可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

      具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測(cè)功能。可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。

      可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為機(jī)床誤差修正的提供依據(jù)。

      具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線） 及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)量與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

      可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

      內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，含國(guó)標(biāo)（GB） 、ISO（國(guó)際） 、BS（英制） 、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)） 、JIS（日標(biāo)）共13份 。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

      使用方便：準(zhǔn)直激光后，輕易實(shí)現(xiàn)設(shè)備線性定位、重復(fù)定位精度、反向間隙、角度、直線度的測(cè)量。

      攜帶方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。

      測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。

2.2.   分析標(biāo)準(zhǔn)配置

激光干涉儀測(cè)量分析軟件支持以下檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，含國(guó)標(biāo)（GB） 、ISO（國(guó)際） 、BS（英制） 、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)） 、JIS（日標(biāo)）共13份 。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。